Disques (wafers)
Les plaquettes optiques sont des substrats de base utilisés dans la fabrication de dispositifs photoniques. Elles sont généralement faites de silicium, de germanium, de quartz et de saphir. Des structures telles que les guides d’ondes de lumière et les cavités de résonance sont formées par des processus micro et nano d’usinage tels que la photolithographie, la gravure et ainsi de suite.